Kompensaator
01
Lõõtsakompensaator võimsusvaakumvälja jaoks
Toote funktsioonid
Vaakumtihedus: Tänu ülitäpsele keevitustehnoloogiale ja spetsiaalsele tihendusstruktuurile garanteerivad need lekke puudumise kõrgvaakumiskeskkondades vahemikus 10⁻⁸ Pa·m³/s kuni 10⁻¹¹ Pa·m³/s, vastates selliste tööstusharude nagu pooljuhtide ja fotogalvaanika rangetele nõuetele.
Nihke kompenseerimine: Lõõtsade elastse deformatsiooni kaudu neelavad need aksiaalseid, külgmisi ja nurknihkeid, vältides torujuhtmetes soojuspaisumisest/kokkutõmbumisest või seadmete vibratsioonist tingitud pingete koondumist ja pikendades seadmete kasutusiga.
Vibratsiooni ja müra vähendamine: Paindlik konstruktsioon suudab tõhusalt vähendada vaakumpumpade ja turbomolekulaarsete pumpade sarnaste seadmete vibratsiooni ja müra, suurendades süsteemi töö stabiilsust.
Korrosiooni- ja kõrge temperatuurikindlus: Roostevabast terasest või spetsiaalsetest sulamitest valmistatud voolikud sobivad söövitavatele gaasidele (näiteks happelistele gaasidele CVD-protsessides) ja kõrge temperatuuriga keskkondadele (-200 ℃ kuni +450 ℃).
Kasutusala
Pooljuhtide ja elektroonika tööstus: kasutatakse vaakumtorustiku ühendustes seadmete jaoks vahvlite tootmisel, söövitamisel, katmisel (PVD/CVD) jne, tagades kõrge puhtusastme ja saastevaba ülekande.
Vaakumpumbasüsteemid: Ühendatud juurpumpade, pöördlabapumpade, molekulaarpumpade jms külge, et kompenseerida vibratsiooni ja termilisi nihkeid ning parandada tihendusvõimet.
Vaakumventiilid ja kambriühendused: Vaakumkatmismasinates ja elektronkiirkeevitusseadmetes toimivad need painduvate üleminekukomponentidena ventiilide ja kambrite vahel, hoides ära jäikade ühenduste põhjustatud lekkeohtu.
Teadusuuringud ja meditsiiniseadmed: rakendatakse täppisinstrumentides, nagu osakeste kiirendid, elektronmikroskoobid ja vaakumkülmkuivatid, et tagada kõrgvaakumkeskkondade stabiilsus.
Uus energia- ja fotogalvaanikatööstus: kasutatakse sellistes protsessides nagu päikesepatareide katmine ja liitiumaku vaakumkuivatamine, taludes kõrgeid temperatuure ja keemiliselt söövitavat keskkonda.
Toote eelised
Kohanduvus kõrgvaakumiga: vastab kuni 10⁻¹¹Pa·m³/s ülikõrge vaakumi nõuetele ilma gaaside eraldamiseta.
Pikaealine disain: mitmekihiline lõõtsastruktuur väsimuskindlusega ≥10 000 tsüklit.
Mitmed ühendusmeetodid: äärikud (KF/CF), keevitus- või kiirühendusliidesed, mis ühilduvad erinevate vaakumstandarditega (ISO/DIN).
Kohandamisteenused: Erinevate kaliibrite (DN10~DN500), pikkuste ja erimaterjalide (näiteks Hastelloy) kohandamise toetamine.
Roostevabast terasest vaakumlõõtsad on vaakumseadmete tõhusa ja stabiilse töö tagamise võtmekomponendid, mis sobivad tööstus- ja teadusvaldkondadele, kus on kõrged puhtus- ja täpsusnõuded. Tehniliste parameetrite või valiku toetamiseks võtke ühendust meie professionaalse meeskonnaga!